2018

  1. N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, S.Yu. Zuev, N.N. Tsybina. Improving the optical and mechanical characteristics of aluminum thin-film filters by adding thin cap layers. Thin Solid Films 653, 359–364 (2018)

    2. 2017

  2. Н.А. Дюжев, Г.Д. Демин, Т.А. Грязнева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ф.А. Пудонин. Микрофокусные рентгеновские трубки с кремниевым автоэмиссионным нанокатодом как источник рентгеновского излучения. Краткие сообщения по физике ФИ АН, №12, с. 56-63 (2017)

  3. Nikolay Ivanovich Chkhalo, Ilya Vyacheslavovich Malyshev, Alexey Evgenievich Pestov, Vladimir Nikolaevich Polkovnikov, Nikolay Nikolaevich Salashchenko, Michael Nikolaevich Toropov, Sergey N. Vdovichev, Igor Leonardovich Strulya, Yuri Alexandrovich Plastinin, and Artem A. Rizvanov. Collimator based on a Schmidt camera mirror design and its application to the study of the wide-angle UV and VUV telescope. Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems 4(1), 014003-1-014003-9 (Jan–Mar 2018)

  4. Ionization-induced leaking-mode channeling of intense short laser pulses in gase / A. M. Sergeev, M. Lontno, A. V. Kim, V. B. Gildenburg, M. D. Chernobrovtseva, V. I. Pozdnjakova, I. A. Shereshevskii, Laser and Particle Beams 17 (1), 129 (1999);

  5. Nikolay Chkhalo, Sergey Gusev, Andrei Nechay, Dmitri Pariev, Vladimir Polkovnikov, Nikolay Salashchenko, Franz Schäfers, Mewael Sertsu, Andrey Sokolov, Mikhail Svechnikov, and Dmitry Tatarsky. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography. // Optics Letters/ Vol. 42, Iss. 24, 5070-5073 (2017)

  6. Nikolay Chkhalo, Vladimir Polkovnikov, Nikolay Salashchenko, and Mikhail Toropov. Deposition of Mo/Si multilayers onto MEMS micromirrors and its utilization for extreme ultraviolet maskless lithography. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 35, 062002 (2017); doi: 10.1116/1.4995369

  7. M. Svechnikov, D. Pariev, A. Nechay, N. Salashchenko, N. Chkhalo, Y. Vainer and D. Gaman. Extended model for the reconstruction of periodic multilayers from extreme ultraviolet and X-ray reflectivity data. J. Appl. Cryst. 50, 1428-1440 (2017). https://doi.org/10.1107/S1600576717012286

  8. М.В. Зорина, М.С. Михайленко, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, И.Л. Струля, С.А. Чурин, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, “Влияние ионной бомбардировки нейтрализованными ионами неона на шероховатость поверхности плавленого кварца и бериллия,” Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – №5. – С.5-9

  9. Нечай, А.Н. / Применение кластерных пучков для физики и технологии микроструктур / А.Н. Нечай, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – №5 – С. 17-22.

  10. N. I. Chkhalo, M. S. Mikhaylenko, A. V. Mil’kov, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, I. L. Strulya, M. V. Zorina, S. Y. Zuev. Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium. Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V, 102350M (May 31, 2017); doi: 10.1117/12.2269312

  11. I. V. Malyshev, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, N. N. Salashchenko, A. E. Pestov, S. V. Kuzin, V. N. Polkovnikov. Deformation-free rim for the primary mirror of telescope having sub-second resolution. Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V, 102350C (May 31, 2017); doi: 10.1117/12.2269433

  12. Eugene A. Vishnyakov ; Alexander V. Shcherbakov ; Andrei A. Pertsov ; Vladimir N. Polkovnikov ; Alexey E. Pestov ; Dmitry E. Pariev and Nikolai I. Chkhalo
    » High-aperture monochromator-reflectometer and its usefulness for CCD calibration «, Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V, 102350W (May 31, 2017); doi:10.1117/12.2264814

  13. Гарахин, С.А. Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования / С.А. Гарахин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Квантовая электроника. – 2017. – Т.47. — №4. – С.385-392.

  14. Гарахин, С.А. Влияние структурных дефектов апериодических многослойных зеркал на свойства отраженных (суб)фемтосекундных импульсов / С.А. Гарахин, Е.Н. Мельчаков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Квантовая электроника. – 2017. – Т.47. — №4. – С.378-384.

  15. N.I. Chkhalo, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. A. Shaposhnikov, I. L. Stroulea, M. V. Svechnikov, Yu. A. Vainer, S. Yu. Zuev. Be/Al-based multilayer mirrors with improved reflection and spectral selectivity for solar astronomy above 17 nm wavelength. Thin Solid Films 631 (2017) 106–111

  16. N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, a.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Sjmaenok, N.N. Tsybin. Study of Heat induced changes in elastic properties of multilayer Mo/ZrSi2 membranes. Thin Solid Films 631 (2017) 93–98.

  17. N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin, “High-performance facility and techniques for high-precision machining of optical components by ion beams,” Precision Engineering, v.48, pp.338–346 (2017)

  18. N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.V. Mil’kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, “Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium films,” Surface & Coatings Technology, v.311, pp.351–356 (2017). (DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.01.023)

  19. А. Д. Ахсахалян, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, М. Н. Торопов,Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков. Состояние дел и перспективы развития многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. № 1. С. 5–24.

  20. I. V. Malyshev, N. I. Chkhalo, A. D. Akhsahalian, M. N. Toropov, N. N. Salashchenko & D. E. Pariev. «Surface shape measurement of mirrors in the form of rotation figures by using point diffraction interferometer». Journal of Modern Optics. Vol. 64, Issue 4, pp. 413–421 (2017)

    21. 2016

  21. N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Problems and prospects of maskless (B)EUV lithography. Proc. of SPIE. V. 10224 102241O-1-O8 (2016)

  22. Sidorov, D.S. Sputtering of carbon using hydrogen ion beams with energies of 60–800 eV / D.S. Sidorov, N. I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. – 2016. – Vol. 387 – p.73–76.

  23. Зорина М.В., Зуев С.Ю., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением // Письма в ЖТФ, 2016, том 42, в. 16, C. 34-40.

  24. N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev . Thin film multilayer filters for solar EUV telescopes. // Applied Optics. 2016. V.55. No. 17, p. 4683-4690

  25. П.К. Гайкович, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ф. Шеферс, А. Соколов, «Влияние шероховатостей, детерминированных и случайных ошибок в толщинах пленок на отражательные характеристики апериодических зеркал для ЭУФ диапазона», Квант. электроника, 2016, 46 (5), 406–413

  26. Нечай, А.Н. Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм / А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Н.Н. Цыбин, А.В. Щербаков // Квантовая электроника. – 2016. – Т.46. — №4. – С.347-352

  27. M. N. Brychikhin, N. I. Chkhalo, Ya. O. Eikhorn, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, Yu. A. Plastinin, V. N. Polkovnikov, A. A. Rizvanov, N. N. Salashchenko, I. L. Strulya, and M. N. Toropov, “Reflective Schmidt–Cassegrain system for large-aperture telescopes,” Applied Optics, V.55, Is.16, pp. 4430-4435 (2016)

  28. Bogachev, S. A. Advanced materials for multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar astronomy / S. A. Bogachev, N. I. Chkhalo, S. V. Kuzin, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, S. V. Shestov, and S. Y. Zuev // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.9. – p.2126-2135

  29. N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, and M.V. Zorina. Ion-beam polishing of fused silica substrates for imaging soft x-ray and extreme ultraviolet optics. Applied Optics. Vol. 55, No. 6. P. 1249-1256 (2016)

  30. N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, and A.A. Soloviev. Problems in the application of null lens for precise measurements of aspheric mirrors. Applied Optics. Vol. 55, No. 3. P. 619-625 (2016)

  31. N.I. Chkhalo, P.K. Gaikovicha, N.N. Salashchenko, P.A. Yunina, S.Yu. Zuev. Grazing incidence mirrors with enhanced reflectance in the soft X-ray region. Thin Solid Films 598 (2016) 156–160

    32. 2015

  32. D. A. Gavrilin, S. V. Kuzin, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, and A. A. Soloviev. Application of point diffraction interferometry for measuring angular displacement to a sensitivity of 0.01′′. Applied Optics. Vol. 54, No. 31. P. 9315-9319 (2015)

  33. Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, В. Ермаков, С. И. Канорский, С. В. Кузин, С. В. Шестов, И. Л. Струля. Получение и метрология шероховатости сверхгладких оптических поверхностей. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 8. С. 5–8

  34. М. В. Зорина, И. М. Нефедов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, С. А. Чурин, Н. И. Чхало. Прецизионная асферизация поверхности оптических элементов ионно-пучковым травлением. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 8. С. 9–15

  35. А. А. Ахсахалян, А. Д. Ахсахалян, Д. Г. Волгунов, М. В. Зорина, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОПТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ В ИФМ РАН. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 7. С. 93–96

  36. И.В. Малышев, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. МЕТОДИКА АТТЕСТАЦИИ АСФЕРИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ ОБЪЕКТИВА ЭУФ-ЛИТОГРАФА НА ДЛИНЕ ВОЛНЫ 13.5 нм. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 7. С. 87–92

  37. В. О. Догадин, С.Ю. Зуев, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Проект рефлектометра МР- и ЭУФ-диапазонов с монохроматором высокого разрешения и лазерно-плазменным источником большой яркости. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 7. С. 77–86

  38. N. I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. V. Sherbakov, E. V. Skorokhodov, and M. V. Svechnikov. Sub-micrometer resolution proximity X-ray microscope with digital image registration. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 86, 063701 (7 pp.) (2015). @2015 AIP Publishing LLC. [http://dx.doi.org/10.1063/1.4921849]

  39. M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, and N. N. Salashchenko, “Resolving capacity of the circular Zernike polynomials,” Optics Express, Vol. 23 No. 11, pp.14677-14694 (2015)

  40. M.N. Drozdov, Y.N. Drozdov, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, P.A. Yunin, V.V. Roddatis, A. Tolstogouzov, “The role of ultra-thin carbon barrier layers for fabrication of La/B4C interferential mirrors: Study by time-of-flight secondary ion mass spectrometry and high-resolution transmission electron microscopy”, Thin Solid Films 577 (2015) 11–16

  41. N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko and M. V. Zorina, “Note: A stand on the basis of atomic force microscope to study substrates for imaging optics”, Rev. Sci. Instrum. 86, 016102 (2015); http://dx.doi.org/10.1063/1.4905336

  42. M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, N. N. Salashchenko, and M. V. Zorina, «Application of point diffraction interferometry for middle spatial frequency roughness detection,» Opt. Lett. 40 (2), 159-162 (2015)

    43. 2014

  43. Sergey Shestov, Viktor Ermakov, Sergey Kanorski, Sergey Kuzin, Egor Lavrentiev, Maria Zorina, Alexei Pestov, Niklay Salashchenko, Nikolai Chkhalo, Igor Stroulea. // Enabling high-resolution extreme UV solar astronomy // SPIE Newsroom, DOI 10.1117/2.1201411.005683, 2014

  44. А.К. Акопов, М.Н. Брычихин, Ю.А. Пластинин, А.А. Ризванов, И.Л. Струля, Я.О. Эйхорн, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. Высокочувствительный многоканальный телескоп ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового диапазонов спектра для обнаружения сверхслабых излучений объектов. Космонавтика и ракетостроение, Т. 78, №5, с. 77-85 (2014)

  45. А. А. Ахсахалян, А. Д. Ахсахалян, Д. Г. Волгунов, М. В. Зорина, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОПТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ В ИФМ РАН. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 7. С. 93–96

  46. N. I. Chkhalo, S. A. Churin, A. E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu. A. Vainer, and M. V. Zorina. Roughness measurement and ion-beam polishing of super-smooth optical surfaces of fused quartz and optical ceramics. Optics Express, Vol. 22 Issue 17, pp.20094-20106 (2014)

  47. С.А. Булгакова, Д.А. Гурова, С.Д. Зайцев, Е.Е. Куликов, Е.В. Скороходов, М.Н. Торопов, А.Е. Пестов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко. Влияние полимерной матрицы и фотогенератора кислоты на литографические свойства химически усиленного фоторезиста // Микроэлектроника. 2014. Том 43, № 6, с 419-428

  48. Зорина М.В., Нефедов И.М, Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Суслов Л.А., Торопов М.Н., Чурин С.А., Чхало Н.И. Формирование прецизионных оптических элементов методом ионно-пучкового травления. Научно-технической журнал «Контенант», т. 13, №2, 2014, С. 34-42

  49. Вайнер Ю.А., Зорина М.В., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. Проблемы изучения шероховатости и формы сверхточных оптических поверхностей. Научно-технической журнал «Контенант», т. 13, №1, 2014, С. 25-34

  50. В.Н. Полковников, Н.Н.Салащенко, С.Д. Стариков, Н.И. Чхало. Высокоотражающие многослойные зеркала La/B4C с барьерными слоями углерода. Известия РАН. Серия физическая. Том 78. №1. 2014. С. 95-97

  51. Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Применение ионно-пучкового травления для «сглаживания» поверхности плавленого кварца. Известия РАН. Серия физическая. Том 78. №1. 2014. С. 90-94

  52. Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И., Щербаков А.В. Двухкоординатный цифровой детектор для микроскопии в мягком рентгеновском диапазоне. Известия РАН. Серия физическая. Том 78. №1. 2014. С. 102-106

    53. 2013

  53. С.А. Булгакова, М.М. Джонс, А.Е. Пестов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, С.А. Гусев, Н.Н. Салащенко, Е.В. Скороходов. Химически усиленные резисты для литографии высокого разрешения // Микроэлектроника. 2013. № 3, с 206-217

  54. M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, M.V. Zorina / Mirrors with a Sub-Nanometer Surface Shape Accuracy, Pp. 595-615 in Fundamentals of Picoscience, Ed. Klaus D . Sattler, CRC Press 2013. Print ISBN: 978-1-4665-0509-4. eBook ISBN: 978-1-4665-0510-0

  55. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. Next generation nanolithography based on Ru/Be and Rh/Sr multilayer optics // AIP Advances. 2013. Vol.3, Issue 8. P. 082130

  56. И. Г. Забродин, Б. А. Закалов, И. А. Каськов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Установка ионно-пучковой и плазмохимической коррекции формы оптических поверхностей // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. № 9. С. 109–112

  57. М.М. Барышева, Б.А. Грибков, М.В. Зорина, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Проблемы применения атомно-силовых микроскопов для изучения шероховатости поверхности элементов для изображающей оптики. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. № 8. С. 100–104

  58. М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, Б.А. Грибков, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, И.Л. Струля, Н.И. Чхало. Ситалловые суперполированные подложки для рентгеновской оптики. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. № 7. С. 9–13

  59. М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, Б.А. Грибков, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов. ЖТФ. Т. 83. В. 9. С. 134-142. 2013

  60. С. С. Андреев, М. М. Барышева, Ю. А. Вайнер, П. К. Гайкович, Д. Е. Парьев, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Многослойные рентгеновские зеркала для спектральной области «окна прозрачности углерода» 4.4-5 нм. Кристаллография, 2013, том 58, № 3, с. 497–500

  61. N.I. Chkhalo, S. Künstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schäfers, S.D. Starikov. High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography. Appl. Phys. Lett. 2013. V.102. P.011602

  62. М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л. А. Шмаенок. Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi2 и Mo/NbSi2 по термостабильности // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 1. С. 97–99

  63. С.Ю. Зуев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения для проекционной нанолитографии. Известия РАН. Серия физическая. Том 77. №1. 2013. С. 9-13

  64. Д. Г. Волгунов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Формирование наноструктур на стенде ЭУФ-литографа-мультипликатора. Первые результаты. Известия РАН. Серия физическая. Том 77. №1. 2013. С. 4-8

    65. 2012

  65. С.А. Гусев, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л. А. Шмаенок. Термостабильность свободновисящих ЭУФ-фильтров в условиях длительного вакуумного отжига в интервале температур 700–1000°C // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2012. № 6. С. 23–27

  66. П.Н. Аруев, М.М. Барышева, Б.Я. Бер, Н.В. Забродская, В.В. Забродский, А.Я. Лопатин, А.Е. Пестов, М.В. Петренко, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, В.Л. Суханов, Н.И. Чхало. Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si покрытием. Квантовая электроника. Том 42. №10. 2012. С. 943-948

  67. Nikolay I. Chkhalo, Sergei V. Golubev, Dmitry Mansfeld, Nikolay N. Salashchenko, Leonid A. Sjmaenok, and Alexander V. Vodopyanov. Source for extreme ultraviolet lithography based on plasma sustained by millimeter-wave gyrotron radiation. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11, 021123 (2012), DOI:10.1117/1.JMM.11.2.021123

  68. Wouter A. Soer, Maarten M. J. W. van Herpen, Martin J. J. Jak, Peter Gawlitza, Stefan Braun, Nikolay N. Salashchenko, Nikolay I. Chkhalo, and Vadim Y. Banine. Atomic-hydrogen cleaning of Sn from Mo/Si and DLC/Si extreme ultraviolet multilayer mirrors. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11, 021118 (2012), DOI:10.1117/1.JMM.11.2.021118

  69. Nikolay I. Chkhalo, Mikhail N. Drozdov, Evgeny B. Kluenkov, Aleksei Ya. Lopatin, Valerii I. Luchin, Nikolay N. Salashchenko, Nikolay N. Tsybin, Leonid A. Sjmaenok, Vadim E. Banine, and Andrei M. Yakunin. Free-standing spectral purity filters for extreme ultraviolet lithography. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012), DOI:10.1117/1.JMM.11.2.021115

  70. Барышева, М.М. Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов /М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Успехи физических наук. – т.182. – № 7. – 2012. – С.727-747

  71. М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, Б.А. Грибков, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Р.А. Храмков, Н.И. Чхало. Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении. Известия РАН. Серия физическая. Том 76. №2. 2012. С. 190-195

  72. С.А. Гусев, С.Ю. Зуев, А.Ю. Климов, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, В.В. Рогов, Н.Н. Салащенко, Е.В. Скороходов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. Отражательная маска для проекционной литографии на длине волны 13,5 нм. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. №7. 2012. С. 20-25

  73. Андреев С. С., Барышева М. М., Гайкович П. К., Парьев Е. Д.,Чхало Н. И. Многослойные структуры для спектральной области «водного окна» на основе скандия // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2012, № 7, с. 52–54

  74. Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Коротковолновая оптика дифракционного качества: изучение, изготовление и применение. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. №6. 2012. С. 3-12

  75. С. А. Булгакова, М. М. Джонс, Е. А. Киселева, Е. В. Скороходов, А. Е. Пестов, А. Я. Лопатин, С. А. Гусев, В. И. Лучин, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко. Влияние химического строения (со)полимеров резистов на их чувствительность к радиационному излучению. Известия РАН. Серия физическая. Том 76. №2. 2012. С. 186-189

Контактная информация:

+7 (831) 417-94-75 доб. 128
chkhalo@ipmras.ru