Publications

Chkhalo, N. Beryllium-Based Multilayer Mirrors and Filters for the Extreme Ultraviolet Range / Chkhalo Nikolay, Lopatin Alexey, Nechay Andrey, Pariev Dmitriy, Pestov Alexey, Polkovnikov Vladimir, Salashchenko Nikolay, Schäfers Franz, Sertsu Mewael, Sokolov Andrey, Svechnikov Mikhail, Tsybin Nikolay, and Zuev Sergey // J. Nanosci. Nanotechnol. – 2019. – V.19. – P.546-553.

Chkhalo, N.I. Conversion efficiency of a laser-plasma source based on a Xe jet in the vicinity of a wavelength of 11 nm / N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechay, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, and S. Yu. Zuev // AIP Advances. – 2018. – V.8. – P. 105003.

Nechay, A.N. Study of oxidation processes in Mo/Be multilayers / A. N. Nechay, N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, S. A. Garakhin, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, Yu. A. Vainer, E. Meltchakov, and F. Delmotte // AIP Advances. – 2018. – V.8. – P. 075202.

Буторин, П.С. Абсолютно калиброванные спектрально разрешенные измерения интенсивности излучения Xe лазерной плазмы в дальнем ультрафиолетовом диапазоне / П.С. Буторин, Ю.М. Задиранов, С.Ю. Зуев, С.Г. Калмыков, В.Н. Полковников, М.Э. Сасин, Н.И. Чхало // ЖТФ. – 2018. – Т.88.вып.10. – С.1554.

Chkhalo, N.I. Collimator based on a Schmidt camera mirror design and its application to the study of the wide-angle UV and VUV telescope / Nikolay Ivanovich Chkhalo, Ilya Vyacheslavovich Malyshev, Alexey Evgenievich Pestov, Vladimir Nikolaevich Polkovnikov, Nikolay Nikolaevich Salashchenko, Michael Nikolaevich Toropov, Sergey N. Vdovichev, Igor Leonardovich Strulya, Yuri Alexandrovich Plastinin, and Artem A. Rizvanov // Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems. – 2018. — V.4(1). — Р. 014003-1-014003-9.

Chkhalo, N.I. High-reflection Mo/Be/Si multilayers for EUV lithography / Nikolai I. Chkhalo, Sergei A. Gusev, Andrey N. Nechay, Dmitry E. Pariev, Vladimir N. Polkovnikov, Nikolai N. Salashchenko, Franz Schäfers, Mewael G. Sertsu, Andrey Sokolov, Mikhail V. Svechnikov, and Dmitry A. Tatarsky // Optics Letters. – 2017. — V.42. Iss.24. — Р.5070-5073.

Vishnyakov, E.A. High-aperture monochromator-reflectometer and its usefulness for CCD calibration / E.A. Vishnyakov, A.V. Shcherbakov, A.A. Pertsov, V.N. Polkovnikov, A.E. Pestov, D.E. Pariev, N.I. Chkhalo // Proc. of SPIE. – 2017. — V.10235. — Р.10235W.

Chkhalo, N.I. Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium / N.I. Chkhalo, M.S. Mikhaylenko, A.V. Mil’kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev // Proc. of SPIE. – 2017. — V.10235. — Р.10235M.

Malyshev, I.V. Deformation-free rim for the primary mirror of telescope having sub-second resolution / I.V. Malyshev, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, N.N. Salashchenko, A.E. Pestov, S.V. Kuzin, V.N. Polkovnikov // Proc. of SPIE. – 2017. — V.10235. — Р.10235C.

Chkhalo, N.I. Be/Al-based multilayer mirrors with improved reflection and spectral selectivity for solar astronomy above 17 nm wavelength / N.I. Chkhalo, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.A. Shaposhnikov, I.L. Stroulea, M.V. Svechnikov, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev // Thin Solid Films. — 2017. — V.631. — P. 106-111.

Гарахин, С.А. Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования / С.А. Гарахин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Квантовая электроника. – 2017. – Т.47. — №4. – С.385-392.

Гарахин, С.А. Влияние структурных дефектов апериодических многослойных зеркал на свойства отраженных (суб)фемтосекундных импульсов / С.А. Гарахин, Е.Н. Мельчаков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Квантовая электроника. – 2017. – Т.47. — №4. – С.378-384.

Chkhalo, N.I. High-performance facility and techniques for high-precision machining of optical components by ion beams / N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin // Precision Engineering. – 2017. – V.48. – PP.338-346.

Chkhalo, N.I. Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium films / N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.V. Mil’kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev // Surface & Coatings Technology. – 2017. – V.311. – PP.351–356.

N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Problems and prospects of maskless (B)EUV lithography. Proc. of SPIE. V. 10224 102241O-1-O8 (2016)

Sidorov, D.S. Sputtering of carbon using hydrogen ion beams with energies of 60–800 eV / Dmitry S. Sidorov, Nikolay I. Chkhalo, Mikhail S. Mikhailenko, Alexey E. Pestov, Vladimir N. Polkovnikov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. – 2016. – V.387. – P.73-76.

Зорина, М.В. Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением / М.В. Зорина, С.Ю. Зуев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Письма в ЖТФ. — 2016. — Т.42№.16 — С.34-40.

Brychikhin, M.N. Reflective Schmidt–Cassegrain system for large-aperture telescopes / M. N. Brychikhin, N. I. Chkhalo, Ya. O. Eikhorn, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, Yu. A. Plastinin, V. N. Polkovnikov, A. A. Rizvanov, N. N. Salashchenko, I. L. Strulya, and M. N. Toropov // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.16. – p.4430-4435.

Гайкович, П.К. Влияние шероховатостей, детерминированных и случайных ошибок в толщинах пленок на отражательные характеристики апериодических зеркал для ЭУФ диапазона / П.К. Гайкович, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ф. Шеферс, А. Соколов // Квантовая электроника. – 2016. – Т.46. — №5. – С.406-413.

Нечай, А.Н. Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм / А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Н.Н. Цыбин, А.В. Щербаков // Квантовая электроника. – 2016. – Т.46. — №4. – С.347-352.

Bogachev, S. A. Advanced materials for multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar astronomy / S. A. Bogachev, N. I. Chkhalo, S. V. Kuzin, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, S. V. Shestov, and S. Y. Zuev // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.9. – p.2126-2135.

Chkhalo, N.I. Ion-beam polishing of fused silica substrates for imaging soft x-ray and extreme ultraviolet optics / N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov and M.V. Zorina // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.6. – p.1249-1256.

Chkhalo, N. I. Problems in the application of a null lens for precise measurements of aspheric mirrors / N. I. Chkhalo, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, and A. A. Soloviev // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.3. – pp.619-625.

Drozdov, M.N. The role of ultra-thin carbon barrier layers for fabrication of La/B4C interferential mirrors: Study by time-of-flight secondary ion mass spectrometry and high-resolution transmission electron microscopy / M.N. Drozdov, Y.N. Drozdov, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, P.A. Yunin, V.V. Roddatis, A. Tolstogouzov // Thin Solid Films. — 2015. — V.577. — P. 11-16.

Акопов, А.К. Высокочувствительный многоканальный телескоп ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового диапазонов спектра для обнаружения сверхслабых излучений объектов / А.К. Акопов, М.Н. Брычихин, Ю.А. Пластинин, А.А. Ризванов, И.Л. Струля, Я.О. Эйхорн, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Космонавтика и ракетостроение. — 2014. — Т.78. №5. — С. 77-85.

Полковников, В.Н. Высокоотражающие многослойные зеркала La/B4C с барьерными слоями углерода / В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. — 2014. — Т.78. №1 — С. 95-97.

Вайнер, Ю.А. Многослойные зеркала для диагностики корональной плазмы в проектах «Арка» и «Кортес» / Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев, С.В. Кузин, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков // Известия РАН. Серия физическая. — 2014. — Т.78. №1 — С. 98-101.

Ber, B. Sputter depth profiling of Mo/B4C/Si and Mo/Si multilayer nanostructures: A round-robin characterization by different techniques / B. Ber, P. Bábor, P.N. Brunkov, P. Chapon, M.N. Drozdov, R. Duda, D. Kazantsev, V.N. Polkovnikov, P. Yunin, A. Tolstogouzov. // Thin Solid Films. — 2013. — V.540. — P. 96–105.

Забродин, И.Г. Установка магнетронного и ионно-пучкового напыления многослойных структур / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Л.А. Суслов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2013. – №7. – С.37-39.

Барышева, М.М. Многослойные зеркала La/B4C для спектральной области вблизи 6,7 нм. / М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков // Известия РАН. Серия физическая. — 2013. — Т.75. №1 — С. 88-91.

Chkhalo, N.I. High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography / N. I. Chkhalo, S. Kunstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schafers, S. D. Starikov. // Appl. Phys. Lett. — 2013. — V.102. — P.011602-1.

Гусев, С.А. Отражательная маска для проекционной литографии на длине волны 13.5 нм / С.А. Гусев, С.Ю. Зуев, А.Ю. Климов, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, В.В. Рогов, Н.Н. Салащенко, Е.В. Скороходов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2012. — №7. – С.20-25.

Аруев, П.Н. Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием / П.Н. Аруев, М.М. Барышева, Б.Я. Бер, Н.В. Забродская, В.В. Забродский, А.Я. Лопатин, А.Е. Пестов, М.В. Петренко, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, В.Л. Суханов, Н.И. Чхало // Квантовая Электроника. – 2012. – т.42.№10. – с.943-948.

Дроздов, М.Н. Новая альтернатива вторичным ионам CsM+ для послойного анализа многослойных металличеcких структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии / М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, В.Н. Полковников, С.Д. Стариков, П.А. Юнин // Письма в ЖТФ. — 2012. — Т.38№.24 — С.75-85.

Слемзин, В.А. Эксперимент ТЕСИС космического аппарата «Коронас-Фотон» / Слемзин В.А., Суходрев Н.К., Иванов Ю.С., Гончаров А.Л., Митрофанов А.В., Попова С.Г., Шергина Т.А., Соловьев В.А., Опарин С.Н., Лучин В.И., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Кузин С.В., Житник И.А., Шестов С.В., Богачев С.А., Бугаенко О.И., Игнатьев А.П., Перцов А.А. // Механика, управление и информатика. — 2012. — № 7. — С. 41-60.

Кузин, С.В. Выбор материалов оптики для диагностики атмосферы Солнца в диапазоне длин волн 6-60 нм / С. В. Кузин, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко. // Известия РАН. Серия физическая. — 2011. — Т.75.№.1. — С.88-91.

Волгунов, Д.Г. Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчётным разрешением 30 нм / Д.Г. Волгунов, И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. — 2011. — Т.75.№.1. — С.54-56.

Зуев, С.Ю. Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики / С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, М.Н. Торопов, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, Н.И. Чхало. // Известия РАН. Серия физическая. — 2011. — Т.75.№.1. — С.57-60.

Дроздов, М.Н. Послойный анализ многослойных металлических структур Pd/B4C, Ni/C, Cr/Sc методом ВИМС с использованием кластерных вторичных ионов: проблема повышения разрешения по глубине / М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, М.М. Барышева, В.Н. Полковников, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. — 2011. — Т.75.№.1. — С.106-111.

Пестов, А.Е. Система освещения маски ЭУФ нанолитографа / А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, А.С. Скрыль, И.Л. Струля, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2010. — №.10. — С.10–13.

Дроздов, М.Н. Использование кластерных вторичных ионов для минимизации матричных эффектов при послойном анализе многослойных наноструктур La/B4C методом ВИМС / М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, М.М. Барышева, В.Н.Полковников, Н.И.Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2010. — №.10. — С.14–18.

Андреев, С.С. Многослойные зеркала на основе La/B4C и La/B9C для спектральной области аномальной дисперсии бора (длин волны 6.7 нм) / C.C. Андреев, M.M. Барышева, Н.И. Чхало, С.А. Гусев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, Ю.А. Вайнер, С.Ю.Зуев // Журнал технической физики. — 2010. — Т.80.№.8. — С.93-100.

Зуев, С.Ю. Элементы отражающей оптики для решения задач рентгеновской астрофизики в рамках эксперимента ТЕСИС / С.Ю. Зуев, С.В. Кузин, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко // Известия РАН. Серия физическая. — 2010. — Т.74.№.1. — С. 58-61.

Andreev, S.S. Multilayered mirrors based on La/B4C(B9C) for x-ray range near anomalous dispersion of boron ( l near 6.7 nm) / S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. — 2009. — V.603.№.1-2. — P. 80-82.

Chkhalo, N.I. Manufacturing of XEUV mirrors with subnanometer surface shape accuracy / N.I. Chkalo, E.B. Kluenkov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.G. Raskin, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, M.N. Toropov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. — 2009. — V.603.№.1 – 2. — P. 62-65.

Клюенков, Е.Б. Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы / Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. — 2008. — Т.72.№.2. — С. 205-208.

Клюенков, Е.Б. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью / Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Г. Раскин, М.Н. Торопов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Российские нанотехнологии. — 2008. — Т.3.№9-10. — С.116-124.

Климов, А.Ю. Экспериментальные исследования возможностей интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля формы оптических элементов / А.Ю. Климов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Е.Д. Чхало, Н.И. Чхало, Н.Б. Вознесенский // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2007. — №.6. — C.99-103.

Андреев, С.С. Многослойные дисперсионные отражательные элементы на основе Mg, предназначенные для работы на длине волны 30,4 нм / С.С. Андреев, С.Ю. Зуев, А.Л. Мизинов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2005. — №.8. — C.9-12.

Андреев, С.С. Компенсация упругих деформаций многослойных Mo/Si-структур, нанесенных на подложки из кварца и зеродура, посредством буферных Cr/Sc-слоев / С.С. Андреев, Е.Б. Клюенков, А.Л. Мизинов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, В.В. Чернов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2005. — №.2. — C.45-48.