The ethalon-free interferometer project

В результате выполнения проекта

• впервые в мире создан безэталонный интерферометр с дифракционной волной сравнения для индустриальных применений, обеспечивающий (суб)нанометровую точность измерений
• разработаны и апробированы оптические схемы для исследования основных (рентгено)оптических элементов и систем

Работы по теме «Разработка безэталонного интерферометра для прецизионных измерений аберраций оптических элементов и систем» ведутся в рамках выполнения НИР по ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы»

Уникальный идентификатор проекта RFMEFI60418X0202 при поддержке Минобрнауки России. Соглашение № 075-02-2018-182 от 26.11.2018 1-й этап

Общие данные о проекте:

• Исполнитель: Институт физики микроструктур РАН – филиал ФГБНУ «Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики РАН»
• Индустриальный партнер: ФГУП «Экспериментальный завод научного приборостроения со Специальным конструкторским бюро Российской академии наук
• Срок проекта: 2018-2020 гг.
• Финансирование:
  • субсидия 60 000 тыс. руб.
  • собственные средства 12 846 тыс. руб.
  • Индустриальный партнер 12 870 тыс. руб.

Цели проекта:

• Разработка опытного образца интерферометра с дифракционной волной сравнения «в железе» для индустриальных применений
• Разработка эскизной научно-технической документации для организации производства интерферометров этого типа на площадях индустриального партнера
• Демонстрация натурного образца интерферометра на специализированных выставках

Ожидаемые основные результаты:

2018

• усовершенствованна технология изготовления волоконного источника сферической волны (ВИСВ) и изготовлены экспериментальные образцы
• программа для амплитудного режима регистрации и обработки интерферограмм
• регистрирующая система
• стенд для изучения аберраций источников и регистрирующей оптики

2019

• изготовлен экспериментальный образец безэталонного интерферометра с дифракционной волной сравнения (БЭИДВС)
• программа для фазового режима регистрации и обработки интерферограмм
• программы и методики измерений различных оптических элементов и систем

2020

• изготовлен опытный образец БЭИДВС
• изготовлены высокоточные асферические корректоры волнового фронта